Is-sinteżi tan-nitrur tas-silikon ġiet irrappurtata għall-ewwel darba fl-1857 minn Henri Edouard Saint-Claire Deville u Friedrich Wöhler. Fis-sintesi tagħhom, griġjol li kien fih is-silikon tqiegħed fi griġjol mimli bil-karbonju u msaħħna biex titnaqqas il-penetrazzjoni tal-ossiġnu. Huma rrappurtaw prodott li sejħu nitrur tas-silikon, iżda ma setgħux jiddeterminaw il-kompożizzjoni kimika tiegħu.
Fl-1879, Paul Schutzenberger ipprepara l-prodott billi ssaħħan is-silikon imħallat ma 'materjal tal-kisi (pejst li jista' jintuża bħala inforra tal-griġjol, magħmul billi tħallat faħam, briquette tal-faħam jew kokk mat-tafal) f'kalkara tal-funderija u rrapportaha bħala kompost bil-kompożizzjoni Si3N4. Fl-1910, Ludwig Weiss u Theodor Engelhardt ippreparaw Si3N4 billi saħħnu silikon elementali fin-nitroġenu pur. Fl-1925, Friederich u Sittig sintetizzaw in-nitrur tas-silikon billi saħħnu dijossidu tas-silikon u karbonju f'atmosfera ta 'nitroġenu għal 1250-1300 grad bl-użu ta' tnaqqis termali tal-karbonju.